8月25日和26日,由上海集成电路研发中心主办、中国半导体行业协会和上海市集成电路行业协会协办的先进集成电路制造工艺培训在上海成功举办。
此次培训旨在加强国内集成电路制造厂商与材料设备厂商之间的联系和沟通,满足材料设备厂商工程师对芯片制造工艺技术的了解需求,从而为材料设备厂商的国产化研发提供积极有益的帮助。为期两天的培训中,共有来自全国各地三十多家材料设备厂商近六十多位工程师参加。研发中心的讲师主要介绍了集成电路制造的前、后道工艺集成技术及包括pvd、cvd、litho等各个相关模块的工艺技术,受到了厂商工程师的欢迎和好评。
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