研发中心12寸铜互连中试研发线第一台设备搬入-和记娱乐网页

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研发中心12寸铜互连中试研发线第一台设备搬入
发布时间: 2011-05-16 08:00  来源: 本站编辑

  5月13日,由诺发公司捐赠的pecvd设备搬入研发中心中试厂房净化间,此举标志着研发中心12寸铜互连中试研发线建设进入安装调试阶段。年内将有多台12寸设备安装到铜互连中试研发线上。

  以先进的中试研发线和设备为平台,研发中心将紧跟国际业界各项主流技术和特色技术的发展趋势,加大自主知识产权技术研发力度,深化与产业界的合作,发挥国内唯一“国家级集成电路研发中心”的功效和作用。

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