2017年4月9日-11日,第五届中国电子信息博览会(cite2017)在深圳会展中心如期举行。上海华虹宏力半导体制造有限公司(“华虹宏力”)、上海华力微电子有限公司(“上海华力”)携公司最新技术和产品登场中国高端芯片联盟展区,集中展示了作为中国半导体产业主力军的风采,并凭借优势制造工艺荣获两项“2017cite创新产品和应用金奖”。其中,华虹宏力获奖工艺为“600v-1200v场截止型igbt芯片制造工艺技术”,上海华力获奖工艺为“55纳米超低功耗工艺平台”(“55nm ulp”)。
华虹宏力此次获奖的“600v-1200v场截止型igbt芯片制造工艺技术”可提供深沟槽刻蚀、钝化、超薄片加工(包括背面注入、激光退火、背面金属化)等国际领先技术。上个月,该项目刚摘得“第十一届(2016 年度)中国半导体创新产品和技术”奖。
上海华力参加评选的55nm ulp工艺平台相较传统的55nm lp,其核心工作电压降低约30%,工作功耗降低约20%,通过提供ehvt和elvt核心器件满足联网应用需求;支持核心工作电压最低调降至0.9v。该工艺技术已成功量产,未来将结合射频工艺以及嵌入式闪存工艺,提供客户完整的可穿戴式芯片方案。
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