时光如白驹过隙，今年是改革开放40周年。四十年，是一个稚子，成为国家栋梁的时间；四十年神州大地日新月异：南水北调、西气东送、青藏铁路、三峡大坝、跨海大桥、神州飞天、嫦娥奔月，一个个气势恢宏的大工程，带着中国的印记正在深深地影响着世界格局。
今年也是浦东开发开放28周年。浦东，作为中国改革开放的窗口和经济发展的前沿阵地，自1990年开发开放之初，便因改革开放而生，因改革开放而兴。它破冰探路，拿下了一项项全国“第一”。2013年9月，上海自贸试验区挂牌成立，这是党中央的重大决策。对照国际最高标准、最好水平，浦东又一次担起中国新一轮改革开放的重任，强化制度创新，大刀阔斧、披荆斩棘。
今年是我大学毕业工作的第28个年头，也是我到上海浦东工作和生活的第21个年头。90年大学微电子专业毕业后，我进入国家908重点工程—无锡华晶电子有限公司工作，在那儿，我从助工-工程师-主管工程师，一步一步成长起来；也获得了4年4英寸fab生产线、3年5英寸fab生产线的经验。97年，为了支援和参与国家重点项目909工程，我来到上海浦东，加入到华虹集团这个大家庭，有幸参与并见证了中国大陆首条深亚微米超大规模集成电路8英寸生产线（简称fab1）的建设、发展。
“909”工程的由来是这样的：为突破我国电子信息产业的发展瓶颈，追赶全球信息化的浪潮，当时中国最高领导层决定实施被视为关系国家命脉、体现国家意志的“909”工程，并放在中国改革开放的前沿热土-上海浦东，“909”工程的载体-华虹集团就此诞生。下属的第一条生产线（fab1），也是中国大陆首条深亚微米超大规模集成电路8英寸生产线，选择和日本nec合作，以1997/7/31正式动工开建。
98年6月，我东渡扶桑，开始了为期半年的技术培训。在日本，当时nec本社宏伟的火箭式大楼、东京地铁的拥挤、秋叶原琳琅满目的电器尽管给我留下了深刻的印象，但更吸引我的是日本nec相模原强大的科研技术实力，以及广岛工厂先进的生产车间。因为相对我以前工作接触的4英寸5英寸线，它们真的先进得多，亲眼所见，冲击力十足，感概万分。所以无论在相模原还是在广岛培训，我都虚心好学，不愿忽视一点一滴。
98年末，回国后立即投入了华虹集团下属的华虹nec公司火热的生产线（fab1）建设中。当时，设备立上期间，作为工艺工程师，我负责5k设备的工艺调试。为了实现提前投产、提前量产的目标，我和我的同事，通宵达旦的工作，急生产所急，生产突发紧急问题，只要接到联络电话，不管休息日还是夜晚，都会立即赶往生产现场，及时调查问题。就这样通过5k、10k、20k设备的调试实践，增长了才干。我也从最初的听从日方主任指派工作，到与日方主任一起管理小组，成为中方主任。渐渐地，成了带队的技术骨干。
2001年公司生产线全面进行128兆动态存储器生产时，曾出现硅片表面起雾现象，导致制品成品率低，信赖性差，这成为当时产品质量一个突出的问题。当初问题的怀疑方向是光刻工序，从涂胶机、stock、光刻机一路反反复复调查。我当时正好刚接手此道光刻前的成膜工序（涂silica），对机台的内部结构已有所了解。听了产品异常现象分析后，凭以前的经验敏感地意识到我刚接手的此工序有嫌疑，就主动提出silica成膜也有可能导致此类fail的新观点。我从发生机理着手，通过分步实验进行深入的调查验证，究明原因后又提出根本对策。最后效果确认到全面应用，一环扣一环地，从根本上解决了这个问题，良率的提升每月可为公司提高经济效益17.9万美元。
因此case的成功解决，2002年初，为了适应国际、国内半导体市场的变化，公司决定走出一条foundry代加工的新路。随着公司经营方式、服务方式和生产品种的巨大改变，对产品开发和客户和记娱乐怡情博娱的技术支持提出了更高的要求。为了加强技术人员力量，我被调到制品技术部，任逻辑产品组主任。从此开启了为满足各类客户需求，在加速新工艺平台转移或开发、时时协作客户推陈出新各类产品、持续提高量产品的良品率、不断降低生产成本等方面的数十年孜孜不倦的追求。
fab1生产线为信息产业的核心-集成电路产业在我国的生根、繁衍，做出了突出的贡献，取得了前所未有的巨大效益。仅以手机的sim卡芯片为例，在fab1建成之前，我国移动sim卡芯片全部依赖进口，平均采购价为每个82元人民币，fab1投产后，支持南华虹、大唐两家设计公司自主设计sim卡芯片，并为其加工，打破国外垄断，价格迅速回落，2004年，仅为8.1元，从2001年~2004年，为国家节约大量外汇。
尤其值得一提的是国家第二代身份证id 卡产品的试作。众所周知，第二代身份证id 卡是一个有关国计民生和国家安全的重要项目，项目的成功可使华虹抢占需求量大、需求长期稳定的中国id卡市场，具有较高的经济价值和社会价值。但是，身份证id 卡产品开发时却面临巨大压力：时间短、新工艺开发任务重、可靠性要求高。我带领项目小组全体成员，齐心协力，知难而进，勇挑重担，敢于创新，和设计、工艺人员一起，解决了id 卡工艺中的近十个攻关课题。2004年6月华虹二代身份证芯片项目一举通过了专家组验收，各项技术和可靠性指标都达到设计要求。当时通过公安部认证的有4家设计公司，其中有3家公司的产品是由华虹生产，并都获得了公安部的认可，取得了实验性发卡良好成绩。
平心而论，无论早期的sim还是身份证卡，都极大促进卡类芯片设计和生产国产化, 带动了国内卡类市场产业发展, 今天的id卡，已有十多年的使用实际检验，充分证明了它的高可靠性。目前成功量产的0.13微米 /95纳米 e2prom 和eflash又是当前国产银行卡和电表的主力工艺平台之一，在国策民生中同样发挥了重要作用
近三年，也是分立器件power mos 从传统型向高性能型转变替代的关键三年。我和我的同事开发的屏蔽栅深沟槽mos具有开关速度快，导通电阻小，电源转换效率高等特点，最近三年量产需求强劲。通过精准加工，使深沟槽/沟槽接触孔的深度和形貌得到严格控制，保证了稳定的良率并使之顺利量产。 平面型超级结是我们为一日本客户代工的另一类新型power mos产品，开发初期客户急着送样，但客户特殊要求的背面蒸金工艺peeling/发花。两天两夜，我们一边竭尽全力想方案、一边试验判断，硬赶在客户规定时间内交出了客户满意的货。受到了客户的表扬，目前客户的第二代产品和车载品也已陆续开发成功。
fab1也是一站式模拟/功率ic技术提供商:久经验证的0.5μm~0.13μm 3.3v/5v工艺平台;近年来的转移后量产的全系列、宽电压范围的bcd/cdmos，为市场提供了广泛的选择。
一份耕耘一份收获，为全方位满足客户需求，一厂数年来努力把自身打造成全球8英寸生产线生产工艺平台门类最多的生产线之一:既有95nm/0.13/0.18 um 存储器/逻辑工艺，也有几或零点几um的power mos,bcd,bcm,lcd，rfldmos，mems等工艺；既有几百伏高压工艺也有低压工艺，其复杂度在业内也少见。各类特色工艺为fab1抵制行业周期性风险带来了保证。
二十年转瞬即逝，工作时常为项目进展不顺而忧心、也为取得的点点突破而欢喜，日子过得简单而充实，一周周一年年，随着岁月的流失，一切记忆都会渐渐淡去。
值得欣慰的是一厂的成功建设和良好运营，既为承担国家“909”半导体重点工程建设以及后续“909” 升级任务的上海华虹集团，开端就交出了一份靓丽的答卷，也为后续大陆踊跃而至的半导体生产线建设起到了引领作用。但居安思危永远是必须的，我日本实习过的、fab1建厂以它为母版的nec广岛工厂，因单一的存储器产品生产，在半导体行业残酷的竞争中不复存在了。原nec 广岛工厂的部长，也是fab1产品技术部我最初的上司，在2010年后途经上海再次来一厂参观时感概万分，他真诚地说：“你们run的fab出乎他想象的好”。
现如今中美贸易摩擦不断、中兴公司被制裁等多个事件，更加突显了“中国芯”的重要战略地位。华虹集团以国家集成电路制造业主心骨的责任和担当，近年来飞速发展。自建设中国大陆首条深亚微米超大规模集成电路8英寸生产线起步，目前在上海金桥和张江共有三条8英寸生产线、一条12英寸生产线。另在浦东康桥建设中的第二条12英寸生产线（fab6）,肩负国家“909”工程二次升级改造的重任；在江苏无锡新建一条12英寸生产线（fab7）是集团首次走出上海进行如此规模的产业布局，将上海的创新优势与周边空间纵深对接，必将成为长三角产业一体化发展中精彩一章。
个人的发展，离不开企业给你的舞台。华虹集团不断提升自己，给员工创造新的机会，为员工搭建事业有为的舞台。我学微电子，学以致用是初心、“芯”路历程上砥砺前行，为推进我国信息产业发展尽心尽责，是一名普通基层半导体技术人的心声。 “路漫漫其修远兮，我将上下而求索”，半导体领域技术日新月异，竞争激烈不进则退，我将全身心投入到华虹集团新一轮的产业发展中，继续积极进取、勇于实践，坚持创新，为企业和浦东的新一轮发展，贡献一份新上海人的力量。
陈菊英
2018年9月3
